首先，我们要知道什么是真空阀？公称压力低于标准大气压力的阀门称为真空阀。在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件都称为真空阀门。

真空阀通常根据工作压力，即真空度可分为三大类：

低真空阀：绝对压力在 101325~0.133Pa

高真空阀：绝对压力在 0.133~1.33 × 10-6Pa

超高真空阀：绝对压力在 1.33 × 10-6~1.33 × 10-10Pa

真空阀的作用到底是什么？  如下：

1、开关气路

如图1所示，当阀1和阀4关闭，阀2打开时，机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空，气流流经预真空抽气管路；当阀2关闭，阀4打开时，机械泵可单独对扩散泵抽真空；当阀1和阀4同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器进行抽空，此时气流流经扩散泵。可见，阀门在这种操作中的作用是开关气路，改变气流的流经路线；

2、控制气流大小

调节真空度在图1中，调节阀1的阀盖开启角度，即可调节流经管路的气流量大小；关闭阀2和阀4，通过放气阀3可以给机械泵Ⅲ的入口放成大气；通过放气阀5可以调节容器内的真空度；

3、定量充气

如图2所示，在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞，当小洞转向右边和高压气瓶连通时，小洞中就可充满高压气体；当它转向左边和真空容器连通时，就把该体积的高压气体放进容器中去，这样就起到了定量充气的作用。

常用的真空阀有真空球阀、真空蝶阀、真空挡板阀、真空止回阀等